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2英寸低阻高掺p型碳化硅衬底

产品介绍

利用液相法生长的P型碳化硅衬底具有低电阻、高掺杂浓度、高品质等优势,能满足n沟道SiC IGBT、GTO等高压双极型器件的制备需求

主要指标

晶型:4H/6H     尺寸:50.8±0.38 mm              

厚度:350±25μm   微管密度:<0.1 cm-2

电阻率:0.06~0.11 Ω∙cm


产品咨询:杨女士18232266940

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